12英寸槽式清洗设备

12英寸槽式清洗设备

参考价:面议
型号: WE3102系列
产地: 北京
品牌: 北方华创
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核心参数
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产品详情

1. 产品概述

WE3102系列 12英寸槽式清洗设备,可配备 i-Clean 多药液工艺槽,支持 DN unit, DIO3 等附属功能。

2. 设备用途/原理

WE3102系列 12英寸槽式清洗设备可配备 i-Clean 多药液工艺槽,支持 DN unit, DIO3 等附属功能软件量身定制,具备快速更新能力较高的温度控制稳定性超高的补水精度精准的蚀刻速率控制优秀的干燥效果

3. 设备特点

晶圆尺寸 12 英寸适用材料 光阻、单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅、金属膜、金属氧化物适用工艺 炉清洗、刻蚀 / 抛光后清洗、光阻去除、金属氧化物去除、氮化物去除、控挡片回收适用域 新兴应用、集成电路


深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供北方华创12英寸槽式清洗设备WE3102系列 ,北方华创WE3102系列 产地为北京,属于国产洗瓶机/清洗机,除了12英寸槽式清洗设备的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多洗瓶机/清洗机,客服电话,售前、售后均可联系。

售后服务
  • 产品货期: 60天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训

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