SiC分子外延系统

参考价：面议

型号：	Epiluvac ER3-C1
产地：	美国
品牌：	VEECO
评分：

核心参数

深圳市矢量科学仪器有限公司

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原子层沉积ALD

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分子束外延MBE

产品详情

Epiluvac ER3-C1

晶圆直径可达 200 mm （8“）

通过热壁拓扑结构实现出色的均匀性

先进的动态气体流量控制，可实现佳生长速率和掺杂均匀性。

具有多个加热区的出色温度曲线

不含石英，适用于氯化工艺

在清洁的惰性气氛中进行热晶圆装载/卸载可大限度地减少颗粒污染并延长石墨部件的使用寿命

模块化设计，两个、三个或四个反应器组成集群配置。每个反应器都针对特定的生长步骤进行了优化

在受控环境中在反应器之间进行晶圆运输

高达 1800 °C

适用于中小批量生产和研发

Epiluvac EPI 1000-C：

热壁 CVD 具有出色的均匀性

大 150 mm 基板直径

单晶圆和手动装载

非常适合研发

Epiluvac ER3-N1：

上述ER3-C1系统的GaN版本

可选的原位监测

获得利的温度控制，可大限度地减少晶圆弯曲

卓越的工艺效果

Epiluvac ER3-C1：

晶圆直径可达 200 mm （8“）

通过热壁拓扑结构实现出色的均匀性

先进的动态气体流量控制，可实现佳生长速率和掺杂均匀性。

具有多个加热区的出色温度曲线

不含石英，适用于氯化工艺

在清洁的惰性气氛中进行热晶圆装载/卸载可大限度地减少颗粒污染并延长石墨部件的使用寿命

模块化设计，两个、三个或四个反应器组成集群配置。每个反应器都针对特定的生长步骤进行了优化

在受控环境中在反应器之间进行晶圆运输

高达 1800 °C

适用于中小批量生产和研发

Epiluvac EPI 1000-C：

热壁 CVD 具有出色的均匀性

大 150 mm 基板直径

单晶圆和手动装载

非常适合研发

Epiluvac ER3-N1：

上述ER3-C1系统的GaN版本

可选的原位监测

获得利的温度控制，可大限度地减少晶圆弯曲

卓越的工艺效果

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供VEECOSiC分子外延系统Epiluvac ER3-C1，VEECOEpiluvac ER3-C1产地为美国，属于外延系统，除了SiC分子外延系统的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多外延系统,客服电话，售前、售后均可联系。

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售后服务

产品货期： 60天
培训服务：安装调试现场免费培训

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Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91440300MA5G1QDA16
成立日期: 2020年01月10日
注册资本: 500万人民币
经营范围: 散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

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