德国SENTECH等离子刻蚀系统RIESENTECH SI 591_价格-深圳市矢量科学仪器有限公司

产品详情

1. 产品概述：

SENTECH SI 591 紧凑型 RIE 等离子蚀刻系统具有负载锁定功能，是氯基和氟基 RIE 的紧凑型解决方案。具有出色的工艺可重复性和等离子蚀刻工艺灵活性，这得益于真空负载锁定和由计算机控制的等离子体蚀刻工艺条件。灵活性、模块化和小尺寸是 SENTECH SI 591 compact 的设计特点。可以装载直径达 200 mm 的样品和载体。该系统可以配置为穿墙操作或具有多种选项的小占地面积。

2. 主要功能与优势:

流程灵活性

SENTECH SI 591 紧凑型 RIE 等离子蚀刻系统有助于大量基于氯和氟的等离子体蚀刻工艺。

占地面积小，模块化程度高

该系统可以配置为单个反应器，也可以配置为具有盒到盒装载的集群工具。单反应器的配置是在系统上方有一个负载锁，以小化占地面积，或者有一个负载锁，用于穿墙安装。

3. SENTECH控制软件

SENTECH 等离子蚀刻工具包括用户友好的强大软件，带有 GUI、参数窗口、配方编辑器、数据记录和用户管理。

等离子蚀刻系统具有负载锁定功能，是氯基和氟基 RIE 的紧凑型解决方案。具有出色的工艺可重复性和等离子蚀刻工艺灵活性，这得益于真空负载锁定和由计算机控制的等离子体蚀刻工艺条件。灵活性、模块化和小尺寸是 SENTECH SI 591 compact 的设计特点。可以装载直径达 200 mm 的样品和载体。该系统可以配置为穿墙操作或具有多种选项的小占地面积。

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供德国SENTECH等离子刻蚀系统RIESENTECH SI 591，德国SENTECHSENTECH SI 591产地为德国，属于等离子体刻蚀设备，除了等离子刻蚀系统RIE的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多等离子体刻蚀设备,客服电话，售前、售后均可联系。

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售后服务

产品货期： 60天
培训服务：安装调试现场免费培训

Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91440300MA5G1QDA16
成立日期: 2020年01月10日
注册资本: 500万人民币
经营范围: 散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

型号：	SENTECH SI 591
产地：	德国
品牌：	德国SENTECH
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