鲁汶12英寸硬掩膜刻蚀设备Herent® Chimera® A_价格-深圳市矢量科学仪器有限公司

产品详情

1. 产品概述：

Herent® Chimera® A 金属硬掩膜刻蚀设备，为针对 12 英寸 IC 产业的后道铜互连中氮化钛（TiN）金属硬掩膜刻蚀（metal hardmask open）这一重复道次高的工艺所开发的专用产品，以满足 12 英寸产线的各种硬质掩膜刻蚀需求。此外，Chimera® A 硬掩模刻蚀腔可作为 LMEC-300™ 设备的选配模块，实现从金属硬掩模刻蚀到器件功能层刻蚀的一体化工艺。

12英寸硬掩膜刻蚀设备

2. Herent® Chimera® A系统特性

Herent® Chimera® A 金属硬掩膜刻蚀设备是面向 12 英寸集成电路制造的量产型设备

设备由电感耦合等离子体刻蚀腔（ICP etch chamber）及传输模块（transfer module）构成

适用于 55 纳米及其它技术代的 TiN 等硬掩膜刻蚀工艺

为针对 12 英寸 IC 产业的后道铜互连中氮化钛（TiN）金属硬掩膜刻蚀（metal hardmask open）这一重复道次高的工艺所开发的专用产品，以满足 12 英寸产线的各种硬质掩膜刻蚀需求。此外，Chimera® A 硬掩模刻蚀腔可作为 LMEC-300™ 设备的选配模块，实现从金属硬掩模刻蚀到器件功能层刻蚀的一体化工艺。

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供鲁汶12英寸硬掩膜刻蚀设备Herent® Chimera® A，鲁汶Herent® Chimera® A产地为江苏，属于等离子体刻蚀设备，除了12英寸硬掩膜刻蚀设备的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多等离子体刻蚀设备,客服电话，售前、售后均可联系。

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售后服务

产品货期： 60天
培训服务：安装调试现场免费培训

Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91440300MA5G1QDA16
成立日期: 2020年01月10日
注册资本: 500万人民币
经营范围: 散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

型号：	Herent® Chimera® A
产地：	江苏
品牌：	鲁汶
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