型号: | T-150-S |
产地: | 四川 |
品牌: | |
评分: |
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一款适用于6英寸及以下晶圆测试的标准探针台,也可用于单个器件,或样片的测试。
采用U型台面设计,更好的兼容各种类型探针底座。特殊设计的显微镜安装机构,可兼容金相显微镜或是普通的体式显微镜,方便客户灵活更换显微镜。预留升级接口,可按需要加装升级套件,扩展探针台应用功能。
配套相关测试仪器,可对器件的 IV、CV、脉冲/动态 IV 等参数进行测试;
另有丰富的测试辅助配件供选择,如防震光学平台、测试屏蔽箱、加热控制器等。
整个探针台系统占用空间小,操作灵活,简单易用!
精密卡盘单元
卡盘采用优质不锈钢精密加工而成,盘面中心有独立真空吸附孔,方便器件的固定;另有环形真空吸附槽,分别兼容2寸、4寸、6寸晶圆。搭配日本进口工业真空泵,长久耐用,气路可单独控制;卡盘可选择接地或者接信号,也可选择独立绝缘,方便对不同器件的测试要求。
独立气路控制
可根据测试器件大小,独立控制吸附气路。设计上为了兼顾大、小器件的不同测试要求,真空吸附气路分成了吸附孔式和吸附环式,且吸附环大小还分为2寸、4寸等。在实际使用时可灵活控制。
三目体式显微镜
标准三目体式显微镜,不仅可以通过目镜直接观察样品,还能外接CCD高清工业相机,将画面通过高清液晶屏幕显示出来。既方便测试点观察,还能随时一键拍照或是录像,方便保存测试数据。
成都测芯科技有限公司(CHIPTEST)
主要产品:探针台(Probe Station)。包括4寸、6寸、8寸、12寸常规探针台、高低温真空探针台、RF / mmW测试探针台、高压探针台、磁场探针台以及红外探针台等。可以按照特殊要求进行设计定制。
代理美国GGB探针:GGB探针有ST系列硬探针、T-4系列柔性探针、Model系列微波探针(频率可到500GHz,分波导接口类型和同轴接口类型两种)、有源高阻探针、差分探针、定制探卡等,欢迎咨询。
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