中科微电子 晶圆倒角机CSM100S

中科微电子 晶圆倒角机CSM100S

参考价:面议
型号: CSM100S
产地: 河北
品牌: Hinds Instruments
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核心参数
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产品详情

一、设备简介
1.1设备领域:数控晶圆倒角机是一种精密的半导体生产设备,专门用于对硅晶圆、碳化硅或蓝宝石等材料的晶圆进行精确的边缘倒角处理,以消除切割后产生的毛刺、锐边,提高晶圆边缘质量,确保后续芯片制造过程中的良率和安全性。
1.2设备名称:晶圆片倒角机

1.3设备型号:CSM100S



二、主要技术参数

型号

DJ-100

DJ200

晶圆尺寸

2-4Inch

4-8Inch

晶圆厚度

300um ~1200um(可定制)

适用晶圆形状

OF晶圆及圆边晶圆

晶圆边形

T、R、TT、RR、TR型(可定制)

0F长度

5mm~65mm

0F肩圆角半径

0 ~20mm

研磨圈数

1~5

砂轮zui大转速

6000rpm

研磨速度

1mm/s ~50mm/s

精度

±0.01mm

加工方式

数控完成晶圆外轮廓倒角

晶圆固定方式

真空吸附(可定制)

晶圆定位方式

机械卡具定位

特殊功能

可定制加工异形晶圆

人机界面

触摸屏

冷却水

0.3MPa ,RO水

压缩空气

0.55MPA

排风

10L/MIN

环境温度

10℃-28℃

电力要求

220VAC±10%, 单相, 50Hz or 60Hz, 15 A

设备重量

600KG


三、操作前准备工作

3.1确保电源连接稳定可靠,接地良好;

3.2检查各部件是否完好,包括但不限于防护罩、工作台真空吸盘、砂轮、驱动器等;

3.3确认倒角机运行前的初始设置是否正确;

3.4确认开启冷却水(压力要求0.3Mpa),压缩空气(0.55MPA)是否开启;

3.5确认排水是否连接到下水管路。


四、售后服务及培训

4.1技术培训

设备试生产运行前,卖方负责培训买方相关操作和维修人员,内容包括设备操作维护、故障的分析和处理。

4.2售后服务

质保期内设备如发生故障,在得到买方通知后 4 个小时给答复,24 小时内卖方派有经验的工程师到现场进行维修。

卖方对设备提供终生的免费技术支持,随时处理、解答买方提出的技术问题。

质保期内每年派出 1~2 名相关技术人员到厂作指导及进行相应维护。

技术培训和售后服务期间卖方人员的费用由卖方承担。


五、设备验收

5.1设备交货期见商务合同

5.2交货方式

设备在买方的施工现场安装调试完毕、连续试生产正常运行 30 日后,验收合格整体交货。

设备到货开箱前卖方应提前3天通知买方,由买方、卖方和监理共同进行设备的初验。

卖方在设备包装发货前10天通知买方到卖方制造现场验收,经买方验收人员验收合格签字后确定发货时间;设备验收时须提供相关验收资料,但不作为设备的结束验收。

售后服务
  • 产品货期: 30天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训
  • 安装调试时间: 到货后30天内
  • 是否提供预防性维护计划:
  • 是否提供期间核查方案:
  • 是否提供免费应用支持:
  • 是否提供线上售后平台:
  • 维修付款方式: 先维修后付款
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