| 型号： | CSM870S |
| 产地： | 河北 |
| 品牌： | Hinds Instruments |
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一、设备概况
1.1应用领域：晶圆甩干机是高洁净度冲洗甩干设备, 具有高洁净冲洗，高速甩干，快速烘干，效率高的特点，不同晶圆尺寸，可通过快速更换转子来实现。是湿法清洗工艺的主要设备，设备本身有单腔室和双腔室2种结构，体型小运行平稳。其主要用于2-8英寸半导体晶圆、掩膜板、各种基片等材料的高洁净度冲洗及干燥工艺。
1.2名称：双腔室甩干机
1.3型号：CSM870S
1.4尺寸：710mm*460mm*1850mm
1.5晶圆规格：2-6 英寸
二、主要结构特征
2.1 结构特征
双腔室甩干机主要由主轴传动部分，片盒夹具，工作腔，机架，门盖部分，洁净管路部分，电气控制等组成。
2.1.1材质：不锈钢机架+10mm PP板外壳
2.1.2设备机架：SUS304不锈钢材料，能够满足洁净室工作环境。
2.1.3腔体和载体采用耐腐蚀SUS316L不锈钢并电化学抛光。片架载体可方便更换。
2.1.4电机及转子经精密的动平衡处理，减少设备共振。
2.1.5采用专用定制无刷电机及控制器，保证设备的稳定、可靠及满足系统对洁净度处理的要求。
2.1.6管路系统：PFA洁净管路
2.2 工艺腔体及载体
2.2.1工艺腔数量∶2个 材质为不锈钢316L（腔体电解抛光处理）
2.2.2规格∶ 加工尺寸 2-6 英寸全高片盒，可兼容。
2.2.3工作转速∶ 200—2200 RPM/MIN
2.2.4加热功能∶ 氮气加热 腔体加热
2.2.5轴封：电机转轴采用氮气轴封。
2.3 纯水控制单元：
2.3.1采用扇形冲洗喷嘴。
2.3.2排水口安装电阻率探头，对腔体排水水质进行监测。
2.3.3冲洗工艺完成后，氮气将残留在冲洗管路内的去离子水吹净。
2.3.4待机时，保持回水盒内有水流入且流量可调。
三、主要技术参数
四、售后服务及培训
4.1技术培训
l设备试生产运行前，卖方负责培训买方相关操作和维修人员，内容包括设备操作维护、故障的分析和处理。
4.2售后服务
l质保期内设备如发生故障，在得到买方通知后 4 个小时给答复，24 小时内卖方派有经验的工程师到现场进行维修。
l卖方对设备提供终生的免费技术支持，随时处理、解答买方提出的技术问题。
l质保期内每年派出 1～2 名相关技术人员到厂作指导及进行相应维护。
l技术培训和售后服务期间卖方人员的费用由卖方承担。
五、设备验收
5.1设备交货期见商务合同
5.2交货方式
设备在买方的施工现场安装调试完毕、连续试生产正常运行 30 日后，验收合格整体交货。
设备到货开箱前卖方应提前3天通知买方，由买方、卖方和监理共同进行设备的初验。
卖方在设备包装发货前10天通知买方到卖方制造现场验收，经买方验收人员验收合格签字后确定发货时间;设备验收时须提供相关验收资料，但不作为设备的结束验收。
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