型号: | CSM800S |
产地: | 河北 |
品牌: | Hinds Instruments |
评分: |
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一、设备概况
1.1应用领域:单片甩干机是一种用于半导体晶圆、掩膜板及其他基片材料的高洁净度清洗和干燥设备。其主要特点包括高速甩干、快速烘干以及高效能,能够处理不同尺寸的晶圆,并通过快速更换甩干头来适应不同的需求。这种设备广泛应用于半导体制造过程中的湿法清洗工艺,是该领域中不可或缺的关键设备之一。它不仅适用于2-8英寸的半导体晶圆,还被用于LED外延及芯片制造等其他相关行业。
1.2名称:单片甩干机
1.3型号:CSM800S
二、主要技术参数
2.1应用领域
单片甩干机是高洁净度清洗甩干设备, 具有高速甩干,快速烘干的特点,根据不同晶圆尺寸,可通过快速更换甩干头来实现。是湿法清洗工艺的主要设备,体型小运行平稳。其主要用于2-8英寸半导体晶圆、掩膜板、各种基片等材料的干燥工艺。具有成本低,快速应用生产等优点。
2.2外观
2.2.1 外形尺寸:
2.2.2 机身结构:进口PP板外壳
2.2.3 适用2”-8”晶圆加工
2.3工艺参数
2.3.1 简便直接调速面板
2.3.2 旋转速度:100-6000 r/min
2.3.3 运行时间:0-999S
2.4设备配置
2.4.1 快速拆卸更换甩干头(快插式)
2.4.2 洁净阀门管件
2.4.3 喷药冲水清洗功能(可选配)
2.4.4 氮气加热吹净 (可选配)
2.4.5 静电消除装置和电阻率检测控制和探头(可选配)
2.5动力参数
2.5.1电气:220V,1KW
2.5.2 N2:OD6mm管,压力:0.25-0.3Mpa,流量:5L/min(无选配氮气加热功能无此项)
2.5.3 DI:OD6mm管,压力:0.3-0.4Mpa,流量:5L/min(无选配冲水功能无此项)
2.5.4 排水:OD 12mm(PFA)
三、售后服务及培训
3.1技术培训
设备试生产运行前,卖方负责培训买方相关操作和维修人员,内容包括设备操作维护、故障的分析和处理。
3.2售后服务
质保期内设备如发生故障,在得到买方通知后 4 个小时给答复,24 小时内卖方派有经验的工程师到现场进行维修。
卖方对设备提供终生的免费技术支持,随时处理、解答买方提出的技术问题。
质保期内每年派出 1~2 名相关技术人员到厂作指导及进行相应维护。
技术培训和售后服务期间卖方人员的费用由卖方承担。
四、设备验收
4.1设备交货期见商务合同
4.2交货方式
设备在买方的施工现场安装调试完毕、连续试生产正常运行 30 日后,验收合格整体交货。
设备到货开箱前卖方应提前3天通知买方,由买方、卖方和监理共同进行设备的初验。
卖方在设备包装发货前10天通知买方到卖方制造现场验收,经买方验收人员验收合格签字后确定发货时间;设备验收时须提供相关验收资料,但不作为设备的结束验收。
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