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仪器介绍
传统的纳米压痕仪包括光学成像系统和精密的样品台，样品通过磁铁固定并且能够手动控制。现在，他升级了，光学成像系统和样品台可以被改造。
在产品的发展的过程中，高度重视高分辨率，快速和安全的表面检测（接触）和保护测试头的灵敏度。TANU-M特别适合于测量的已是半成品器件的表面。测试头是可拆卸以便于在大的平正表面上移动的测量。该移动测量头具有一个集成的被动振动减震系统，即使没有主动防振动系统和无外壳，也可以得到精确的测量。
技术参数
1.最大载荷：1500 mN 分辨率: 200 nm
2.最大位移：100 um 分辨率: 0.05nm
3.量測模式：纳米硬度，ISO14577标准硬度及杨氏模量，
连续刚性(QCSM)、循环硬度、Vickers、Elastic Modulus 、Stress-strain、Cyclic等測試
5.测量參數：压痕硬度(HIT)、維氏硬度(HV)、馬氏硬度HM，HMS)、杨氏模量(EIT)
6.自動X-Y量測平台：25x25mm
7.可以擴充：AFM，加熱平台，共軛焦顯微鏡
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