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德国BMT WLI Linik干涉仪
特点：
•区域表面的形貌测量；
•数秒内快速测量；
•粗糙和光滑表面都可测量；
•测量结果不受样品的颜色和材料影响；
•产品坚固耐用。
技术参数：
•光源 LED
•测量范围 （mm) 150
•垂直分辨率（nm） 1
•横向分辨率（μm） ＞0.2
•测量面积 （μm） 90×70
•工作距离，约（mm) 0.3
•光斑尺寸，约（μm) 0.95
•图像尺寸（Pixel） 1～10
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