WLI LA 白光干涉仪
德国BMT WLI LA 白光干涉仪比使用显微物镜的设备可测面积大得多,同时具有非常高的数值孔径。非常适于平整度测量。
特点:
● 表面轮廓和平整度测量;
● 粗糙和光滑表面均可测量;
● 测量不受颜色和材料影响;
● 数秒内完成测量;
● 测量范围大。
技术参数:
适用于较大面积平面的表面结构形状测量
测量头
● 光源 LED
● 测量范围 (μm) 100/150
● 垂直分辨率(nm) ≥1
● 横向分辨率(μm) 30
● 测量面积 (mm) 14×10
● 工作距离 (mm) 24
● 数码相机<14位(Pixel) 1392×1040
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