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德国BMT SMS 翘曲度和厚度测量系统
基础配置：
包含光学传感器、花岗岩基座、电动旋转平台和两个手动传感器调整台、控制系统和数据处理软件。
工作原理：
以同心圆的方式对样品进行扫描。上传感器固定在可移动的X轴上，样品固定在转台上。开始测量后，样品随转台开始转动，得到一条圆形轮廓线。然后X台移动位置，测量下一条轮廓线。测量结束后自动计算平整度/翘曲度参数。如果只测样品一个点的厚度，使用下面的传感器即可。可用不同测量程序应对不同的评估对象，用户可轻松保存和调取测量程序。
基础配置：
包含光学传感器、花岗岩基座，手动调整传感器测量高度的测量桥、电动X、Y移动台、控制系统和数据处理软件。
工作原理：
使用两个传感器水平方向扫描样品表面。样品由XY台上的夹具进行固定。测量以预设的程序进行，自动计算平整度/翘曲度/厚度参数。可用不同测量程序应对不同的评估对象，用户可轻松保存和调取测量程序。
技术参数
X 台
位移 [mm]：150
最小步长 [μm] 1
相对平直度 (50mm/轴) [μm] ± 1
完整系统 (X + 旋转平台)
尺寸 H x W x D [mm] 400 x 500 x 400
重量 [kg] 40
电源 [V, Hz] 115 - 230, 50/60
传感器CL (x2)
测量范围 [μm] 300
轴向分辨率 [nm] 12
精度 [nm] 60
工作距离 [mm] 11
光斑尺寸 [μm] 3
横向分辨率 [μm] 1.5
长度 (无光缆) [mm] 210
最大倾斜角度 [°] ± 28
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