仪器简介:
仕嘉科技为您提供先进的进口金属氧化物化学汽相沉积(MOCVD)解决方案,用于薄膜沉积。主要产品包括台式研发型、中试型和生产型。这些产品拥有许多先进的专利技术,如AIPCS、ICCS等。可以适用的对象包括:1,钙钛矿氧化物如PZT、SBT、CeMnO2等;2,光电薄膜如ZnO等透明导电氧化物、LiNbO3(如用于声表面波器件)、用于制造TFT的ZnO;3,MEMS薄膜;4,薄膜电池;5,三五族化合物如GaN、GaAs系列;6,氧化锌纳米线;7,室温铁电红外探测器材料;8,用于蓝光LED的ZnO, p-ZnO and n-ZnO 薄膜;9,YBCO 高温超导带;10,锑化物薄膜。
技术参数:
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主要特点:
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