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FlexeNanoTM 卷对卷原子层沉积系统(Roll-to-Roll ALD)
FlexeNanoTM 是基于革命性的创新设计的高产能卷对卷原子层沉积系统，模块化的沉积单元可灵活配置组合以适用于不同的走带速度和基带宽度。
FlexeNanoTM 具有优良的大面积沉积的均匀性，操作简单，使用维护成本低，适用于多种前驱体源，可沉积复杂的纳米多层膜，是理想的柔性电子产品，柔性太阳能电池，特殊封装包装材料的大规模生产设备。
FlexeNanoTM 技术指标 | |
基材尺寸 | 标准: 1000m (L) x 300mm (W) x 50μm (T); 其他尺寸可选. |
工作温度 | RT-200oC，其他温度可选 |
沉积模式 | 单面沉积，双面沉积 |
走带速度 | 0.1 to 0.5m/s |
沉积速率 | 2.4nm (Al2O3) one pass at belt speed, 更高速率可选 |
前驱体系统 | 最多8路 500mL c前驱体鼓泡系统，自动显示液位和报警 更大体积可选 |
沉积材料 | Al2O3, HfO2, MgO, SiO2, TiN, TiO2, ZnO, ZnS等等 |
均匀性 | Better than +/?1% (Al2O3) across 100mm web |
设备尺寸 | 2.0m (L) x 1.0m (W) x 1.6m (H) |
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