ML4010 | |
CCD-传感器 | 2/3” |
动态 | 12 bit |
像素# | 1392 x 1040 |
波长范围 | 350 nm - 1100 nm |
通过可选 转换器 | 190 nm - 350 nm |
光瞳大小 | 8.97 x 6.71 mm |
最大帧速率 | 15 fps |
空间分辨率 | 200 μm |
子孔径数量 | 45 x 34 |
动态范围(倾斜) | ± 1,6° (730 lamda) |
波前精度 | < 16 μrad |
动态范围(焦点) | 72 mm (370 lamda) |
精度 | 5 x 10-4 /m |
系统精度 | 10 nm |
重复精度 | 10 nm |
波前精度 | 20 nm |
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