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PulseMasterR860/880系列高能准分子激光器
应用于工艺开发、科学研究和轻工业，具有高脉冲能量和优秀的光束质量的先进的准分子激光器
- 脉冲能量在248nm高达650mJ，在308nm可达600mJ
- EasyClean自动光学密封，以保持填充气体，减少维护时停机时间
- TMCTM（全金属陶瓷）设计延长气体寿命
- 优秀的光束质量和稳定性
- 可选的高亮度镜头，适用于要求低光束发散或延长相干长度
PulseMaster PM-860/880系列准分子激光器是专为高脉冲能量设计的。应用包括脉冲激光沉积（PLD），化学气相沉积 （CVD），如陶瓷、氮化物和图案的金属薄膜层等硬质材料的微加工。TMCTM（全金属陶瓷）设计确保气体寿命延长和低运行成本。强大的微处理器控制允许对激光运行参数的精确控制，即使在突发模式下输出功率依然稳定，并简化日常保养程序。易清洗自动阀门安装在光学端口，当因为清洗和维护而移动谐振腔时，允许激光腔被密封和保留填充钝化气体。
规格
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PM-860 系列
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ArF
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KrF
|
XeCl
|
XeF
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波长（nm）
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193
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248
|
308
|
351
|
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最大脉冲能量（mJ）
|
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250
|
650
|
400
|
350
|
|
平均功率（W）
|
PM-868
|
20
|
60
|
35
|
30
|
|
PM-866
|
10
|
30
|
18
|
15
|
|
|
PM-864
|
5
|
18
|
10
|
9
|
|
|
PM-862
|
2.5
|
9
|
5
|
4.5
|
|
|
最大重复频率（pps）
|
PM-868
|
100
|
100
|
100
|
100
|
|
PM-866
|
50
|
50
|
50
|
50
|
|
|
PM-864
|
25
|
30
|
30
|
30
|
|
|
PM-862
|
12
|
15
|
15
|
15
|
|
|
脉冲持续时间（ns）（FWHM，nominal）
|
12-20
|
||||
|
光束直径（mm）（V×H，nominal）
|
8-12×28
|
||||
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光束发散（mrad）(V×H，nominal)
|
1.5×4
|
||||
|
时间抖动（ns）
|
±2
|
||||
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PM-880系列
|
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|
|
|
XeCl
|
|
波长（nm）
|
|
308
|
|
最大脉冲能量（mJ）
|
|
600
|
|
平均功率（W）
|
PM-888
|
50
|
|
PM-886
|
25
|
|
|
PM-884
|
10
|
|
|
PM-882
|
5
|
|
|
最大重复频率（pps）
|
PM-888
|
100
|
|
PM-886
|
50
|
|
|
PM-884
|
20
|
|
|
PM-882
|
10
|
|
|
脉冲持续时间（ns）（FWHM，nominal）
|
14-26
|
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光束直径（mm）（V×H，nominal）
|
12-17×29
|
|
|
光束发散（mrad）(V×H，nominal)
|
1.5×3.5
|
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|
时间抖动（ns）
|
±2
|
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设备
电源：
- 型号 PM-868，PM-866，PM-888，PM-886：3相4线，208V30A或300V20A，50/60Hz
- 型号 PM-864，PM-862，PM-884，PM-882：单相，200-240V，50/60Hz，15A
冷却水：
- 5℃-20℃，40-6-psig
- 8X8,8X6 型：10 liters/minute
- 8X4,8X2 型： 5 liters/minute
激光气体：
-
Kr或Xe惰性气体，F2或HCL卤素气体，Ne和He保护气；或预混合气体，压缩空气或氮气
- 相关仪器
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