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GV2012B-1型离子溅射仪

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品牌

德东科技

型号

GV2012B-1

产地

中国大陆北京

应用领域

暂无
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GV2012B-1型离子溅射仪
Sputter Coater
离子溅射仪是专为扫描电镜制作样品而设计的,该产品具有结构简单、使用方便、易操作等特点,操作过程自动化程度高。
该机采用嵌入式系统进行各项操作的控制,可以方便的进行制样的各项设置,溅射的时间可以根据样品要求的不同自行设置,并且可以对系统的工作过程进行全方位的监控,将重要的数据实时显示,使用户对样品制备过程可控;特殊设计的钟罩边缘橡胶圈进行密封,可保证长期使用不会出现影响样品溅射室真空度的玻璃钟罩“崩边”现象;
根据电场中气体电离特性,采用大容量样品溅射真空室和相应比例面积的溅射靶,从而可以保证溅射镀层更加均匀。
因此,该设备特别适用于电镜实验室的SEM样品制备和新材料研究的镀膜电极制作。
组成:
1 产品组成部分
该产品主要由以下几部分组成:真空样品室(用高分子有机玻璃制成),主要部件包括阴极靶和样品台(阳极);控制箱,内含真空电阻规、高压电源、电磁流量阀、收据采集系统、真空管道系统、氩气控制系统、嵌入式控制系统等;真空泵。
控制界面
该产品采用嵌入式控制系统,控制界面友好,便于进行操作
主要参数
1、额定电压:220V;
2、额定频率:50Hz;
3、额定功率:380W;
4、金靶规格:直径67mm,厚度0.2mm;
5、真空室规格:直径132mm,高度120mm;
6、溅射面积:55mm
7、最高电压:2000V;
8、真空泵:型号 VRD-8
 
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