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PulseMasterR840系列通用准分子激光器
- 应用于工艺开发、科学研究和轻工业的品种齐全的先进的准分子激光器
- TMCTM（全金属陶瓷）设计延长气体寿命
- 多种模、重复频率和平均功率
- EasyClean自动光学密封，以保持填充气体，减少维护时停机时间
- 优秀的光束质量和稳定性
- 可选的高亮度镜头，适用于要求低光束发散或延长相干长度
PulseMaster PM-840 系列激光器广泛应用于工艺开发、科学研究和轻工制造业。TMCTM（全金属陶瓷）设计确保气体寿命延长和低运行成本。强大的微处理器控制允许对激光运行参数的精确控制，即使在突发模式下输出功率依然稳定，并简化日常保养程序。EasyClean自动阀门安装在光学端口，当因为清洗和维护而移动谐振腔时，允许激光腔被密封和保留填充钝化气体。
规格
PM-840 系列
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ArF
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KrF
|
XeCl
|
XeF
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波长（nm）
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193
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248
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308
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351
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最大脉冲能量（mJ）
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230
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450
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300
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275
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平均功率(W)
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PM-848
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30
|
80
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50
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45
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PM-846
|
15
|
40
|
25
|
22
|
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|
PM-844
|
6
|
20
|
12
|
11
|
|
|
PM-842
|
3
|
10
|
6
|
6
|
|
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最大重复频率（pps）
|
PM-848
|
200
|
200
|
200
|
200
|
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PM-846
|
100
|
100
|
100
|
100
|
|
|
PM-844
|
40
|
50
|
50
|
50
|
|
|
PM-842
|
20
|
25
|
25
|
25
|
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脉冲持续时间（ns）（FWHM，nominal）
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12-20
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光束直径（mm）（V×H，nominal）
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8-12×26
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光束发散（mrad）(V×H，nominal)
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1×3
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时间抖动（ns）
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±2
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设备
电源：
- 型号 PM-848，PM-846：3相4线，208V30A或400V20A，50/60Hz
- 型号 PM-844，PM-842：单相，200-240V，50/60Hz，15A
冷却水：
- 10 liters/minute，5℃-20℃，40-60psig
激光气体：
- Kr或Xe惰性气体，F2或HCL卤素气体，Ne和He保护气，或预混合气体
- 相关仪器
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