PulseMasterR860/880系列高能准分子激光器
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IPEXTM840/860系列工业准分子激光器
应用于电子、通信、半导体、医疗设备和脉冲激光沉积的工业级准分子激光器
- 延长气体使用寿命和降低成本的ICONTM（在镍上集成陶瓷）技术
- EasyClean自动光学密封，以保持填充气体，减少维护时停机时间
- 可选的高亮度镜头，适用于要求低光束发散或延长相干长度
- 高稳定镜片座使光束指向精度达到极限
- 易于集成到工业加工系统
IPEX-840/860系列准分子激光器提供了在电子，半导体和医疗设备行业的工业生产应用的广泛需要的先进、高占空比性能和可靠性。使用ICONTM（在镍上集成陶瓷）技术，IPEX系列激光器在低成本下提供高光学性能。高亮度镜片可用于要求长路径低光束发散（如雷达），延长相干长度（如光纤光栅制造）和改善焦距。易于使用，便于维护和运行经济，IPEX-840/860系列激光器把低运行成本和高运行时间，与高精密切削性结合在一起。
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特点
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益处
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ICON激光管
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延长气体寿命，更换间隔长，运行成本低
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EasyClean自动光学密封
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简化了光学维护，保留填充和钝化气体
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先进的镜片座
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200mrad指向稳定性
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键控镜片
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镜片清洁重装后不需要重新调节
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稳定能量控制
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内部、突发和外部触发模式快速、精确能量稳定性
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预电离
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增强能量稳定性，典型脉冲波动≤1.5%（KrF）
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内部气体净化
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去除微粒和主镜片保洁
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规格
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ArF
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KrF
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XeCl
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XeF
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波长（nm）
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193
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248
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308
|
351
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稳定脉冲能量（mJ）
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Ipex-840系列
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150
|
400
|
250
|
225
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Ipex-860系列
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200
|
600
|
350
|
300
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稳定平均功率（W）
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Ipex-848
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30
|
80
|
50
|
45
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Ipex-846
|
15
|
40
|
25
|
22
|
|
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Ipex-844
|
6.0
|
20
|
12
|
11
|
|
|
Ipex-842
|
3.0
|
10
|
6.0
|
5.5
|
|
|
Ipex-868
|
20
|
60
|
35
|
30
|
|
|
Ipex-866
|
10
|
30
|
18
|
15
|
|
|
Ipex-864
|
5.0
|
18
|
10
|
9.0
|
|
|
Ipex-862
|
2.5
|
9.0
|
5.0
|
4.5
|
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最大重复频率（pps）
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Ipex-848
|
200
|
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|
Ipex-846
|
100
|
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Ipex-844
|
50（ArF时为40）
|
||||
|
Ipex-842
|
25（ArF时为20）
|
||||
|
Ipex-868
|
100
|
||||
|
Ipex-866
|
50
|
||||
|
Ipex-864
|
30（ArF时为25）
|
||||
|
Ipex-862
|
15（ArF时为12）
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脉冲宽度（ns）(FWHM，nominal)
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12-20
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光束直径（mm）（V×H，nominal）
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Ipex-840系列
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12×26
|
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Ipex-840系列
|
12×28
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光束发散（mrad）（V×H，nominal）
|
Ipex-840系列
|
1×3
|
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Ipex-840系列
|
1.5×4
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设备
电源：
- 8X8&8X6型：3相4线，208V30A或400V20A，50或60Hz
- 8X4&8X2型：单相，200-240V，20A，50或60Hz
冷却水：
- 8X8&8X6型：10 liters/minute,5℃-20℃，40-60psig
- 8X4&8X2型： 5 liters/minute,5℃-20℃，40-60psig
激光气体：
- Ar，Kr或Xe惰性气体，F2或HCL卤素气体（稀释），Ne和He保护气；或预混合气体，压缩空气或氮气
- 相关仪器
PulseMasterR860/880系列高能准分子激光器信息由瀚宇科技(香港)有限公司为您提供，如您想了解更多关于PulseMasterR860/880系列高能准分子激光器报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
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