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 | 脉冲激光沉积、分子束外延薄膜制备系统 |
美国BlueWave公司是半导体设备、材料生产商。BlueWave提供多种薄膜制备系统，包括脉冲激光沉积(PLD)、电子束蒸发、热蒸发、反应溅射、热丝化学气相沉积(HFCVD)、热化学气相沉积系统(TCVD)。这些系统是理想的薄膜与涂层合成设备。可制备的薄膜包括氮化物、氧化物、多层膜、钻石、石墨烯、碳纳米管、2D材料。Blue Wave还提供相关系统配件，例如基片加热装置、原位监测工具。此外，BlueWave还为您提供标准的薄膜以及材料涂层，例如氧化物涂层、导电薄膜、无定型或纳米晶Si/SiC、晶体AlN-GaN、聚合物、纳米钻石、HFCVD钻石涂层以及器件加工。
1、脉冲激光沉积系统
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产品特点：
◆ 电抛光多空不锈钢超高真空腔体 ◆ 可集成热蒸发源或溅射源 ◆ 可旋转的耐氧化基片加热台 | ◆ 流量计或针阀控制气体流量 ◆ 标准真空计 ◆ 干泵与涡轮真空泵 ◆ 可选配不锈钢快速进样室 | ◆ 可选配基片-靶材距离自动控制系统 ◆ 可制备：金属氧化物、氮化物、碳化物、金属纳米薄膜、多层膜、超晶格等。 |
2、物理气相沉积系统（Physical Vapor Deposition Plus）
产品特点 ◆ 立衬底加热，可旋转 ◆ 多量程气体流量控制器 ◆ 标准气压计 | ◆ 机械、分子、冷凝真空泵 ◆ 衬底和源距离可控 ◆ 可用于金属氧化物、氮化物、碳化物、金属薄膜 |
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3、热化学气相沉积系统（TCVD）
| 产品特点 ◆ 高温石英管反应器设计 ◆ 温度范围：室温到1100℃ ◆ 多路气体控制 ◆ 标准气压计 ◆ 易于操作 | ◆ 可配机械泵实现低压TCVD ◆ 液体前驱体喷头 ◆ 2英寸超大温度均匀区 |
4、热丝化学气相沉积系统（HFCVD）
产品特点： ◆ 水冷不锈钢超高真空腔 ◆ 热丝易安装、更换 ◆ 4个不同量程气体控制器 ◆ 标准气压计 ◆ 衬底与热丝距离可调节 ◆ 2英寸衬底加热、可旋转 ◆ 制备金刚石和石墨烯 |
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