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短脉冲激光器
——Short-pulse laser
通过对晶体形状、散热和光腔设计的优化组合, 使得INNOSLAB激光器对比其它激光器类型拥有非常多的优点和其它激光器类型不具备的独特性能.
- 短脉宽和高峰值功率 – 产生的极其微小的热区域, 更适于高精度加工
- 近似理论值极限的高光束质量 - 更适合微加工
- 高功率和功率可提升 - 更高的生产效率
- 结构紧凑和性能稳定可靠 – 低运行成本
- 高效率- 低能耗，利于环保
- 输出光斑分布的高灵活性- 绿色加工和最大的能源效率
INNOSLAB短脉冲和超短脉冲激光器标准产品包括以下各种电光调Q的INNOSLAB激光器，使用不同的激活介质, 具有不同的脉冲能量、输出功率和波长:
- 光束质量: M² < 2
- 脉冲能量可达到 60mJ
- 脉宽可达到 4ns以下
- 峰值功率可达到 7MW
- 脉冲重复频率可到 150 kHz
- 平均功率可达 600W
- 波长 1064、 532、 355、266nm
INNOSLAB激光器和放大器的一个与众不同的杰出特性在于其光束形状可量身定制: 从圆形高斯模式到一维线状平顶以及两维方形平顶等等。
——HD-Series short-pulse laser
HD-系列是具备高功率和高脉冲能量电光调Q的INNOSLAB激光器.
技术参数：
- 光束质量: M² < 2
- 脉冲能量达 60mJ
- 脉宽可小于 4ns
- 峰值功率达 7 MW
- 重复频率可达 150kHz
- 平均功率达 600W
- 波长 1064、 532、 355、266nm
主要应用:
- 光伏领域，如薄膜太阳能电池和晶硅太阳能电池导电层和绝缘层的烧蚀
- 显示领域，如导电层的织构化，硅片的有序横向晶化
- 科研领域，如作为染料激光器、OPO以及Ti:宝石激光器的泵浦，粒子成像测速
综述:
|
Model
|
HDxxx-1
|
HDxxx-2
|
HDxxx-3
|
HDxxx-4
|
|
Wavelength(nm)
|
IR
|
Green
|
UV
|
DUV
|
|
Highest beam quality M2
|
1.5
|
1.5
|
1.7
|
2
|
|
Max. average power(W)
|
600
|
200
|
60
|
20
|
|
Max. repetition rate(kHz)
|
150
|
150
|
15
|
15
|
|
Max. pulse engergy(mJ)
|
60
|
30
|
12
|
7
|
|
Min. Pulse width(ns)
|
6
|
5
|
6
|
5
|
|
Energy stability(%)rms
|
1
|
2
|
3
|
4
|
|
Timing stability(ns)
|
5
|
5
|
5
|
5
|
|
Polarisation
|
>100:1
|
>100:1
|
>100:1
|
>100:1
|
|
Beam ellipticity(far field)(%)
|
<10
|
<10
|
<10
|
<10
|
|
Diameter at window(mm)
|
3
|
3
|
3
|
3
|
|
Full divergence angle((µrad)
|
500
|
250
|
250
|
225
|
|
Point stability(µrad)
|
<60
|
<60
|
<60
|
<60
|
|
Warm-up time,from cold start(min)
|
15
|
20
|
30
|
30
|
|
from standby(min)
|
8
|
15
|
30
|
30
|
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