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* Touch panel control System 触摸屏控制系统
1) Spin speed : 100~7000rpm ±1% (@ No load )
转速：100~7000rpm ±1% （空载）
2) Programmable Coating System : 20steps, 20 Recipes (Save & load)
程序控制系统： 20步，20个菜单 （存储和调用）
3) Time : 0.1~999.9sec (Programmable) 时间控制：0.1~999.9sec
4) Bowl size : 14 inch 碗腔直径：14英寸
5) Sample size : piece ~ 8 inch wafer 样品尺寸：小片—8英寸
6) Vacuum chuck : PE 1ea 真空吸盘：PE材料，1个
7) Motor : DC Servo Motor 直流伺服马达
8) External : STS Main Body STS主机材质
9) Oil-less Vacuum Pump 1ea (Include) 含无油真空泵
10) Acceleration/Deceleration rates : Variable Time (0.1sec step)
加速度：0.1sec每步
11) Cover Inter-Lock 腔盖自锁
12) Direct to Exhaust & Drain Bottle 排泄废液收集瓶
13) Dispenser Arm ,Nozzle & 2ℓ Bottle in Stainless Steel Chemical Supply Pressurizing Tank 自动注射装置：操作杆，喷嘴，2升注液瓶，不锈钢压力罐
1 nozzle : Developer 第一路喷头，用于显影液
2 nozzle : D.I Water 第二路喷头，用于去离子水
3 nozzle : N2 第三路喷头，用于氮气
1年
是
有
1次免费培训
3月1次
免费维修免费更换部件
2小时响应
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