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温控晶圆夹盘 HCC302夹盘 美国Instec

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品牌

英斯特科

型号

HCC302

产地

美洲美国

应用领域

共1个

Instec
来自液晶先驱院校美国科罗拉多大学的精密温控装置与液晶检测设备


 

功能特点

 

可编程精密控温。可独立控制,也可从上位机软件控制

超低的盘面温度梯度

软件可拓展性强,可提供LabView等语言的SDK

#升级项# 性能可升级,详见 配置列表

#选择项# 是否带有上盖。上盖功能如下:

   可变样品腔高度

可拆卸的观察窗

用于负温时的除霜设计

向腔室内充入气氛

可做改动或定制,详询上海恒商

 

 

技术参数

 

温度范围

-120℃ ~ 310 负温需使用液氮制冷

可提升温度上限

温度分辨率

0.001

温度稳定性

±0.05(at 100) 可提升稳定性

温度均匀度

±0.1/cm可升级均匀性

控温速度

±0.1/小时

加热速度

+50/分钟(at 100)

制冷速度

-50/分钟(at 100)

温度传感器

100Ω铂质RTD

温控方式

开关式PID 可升级为LVDCPID

尺寸

样品腔面积

48 mm x 60  mm

样品观察范围

26.5 mm(使用外盖)

*注:液氮泵型号不同,制冷表现也会有差异,请悉知

 

 

配置列表

 

HCC302 温控晶圆夹盘

mK2000温度控制器 软件免费,控制线有多种接口供选

温度300℃  升级为 更高

 

上盖


液氮制冷系统 包含液氮泵与液氮罐,使样品降至负温

 

外壳水冷配件 用常温水或冰水循环防止外壳过热


固定支架 把夹盘固定在使用平台上,防止滑动


温控联动显微镜相机 温度-图像联动工作,附软件


线性可变直流电源(LVDC) 装在温控器里,抑制电噪音


*注:产品有多种配置变化,详询上海恒商


 

 


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售后服务

1年

按客户需求人数培训

1年校准1次

非人为损坏免费维护

2小时内响应

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