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物镜Z轴纳米扫描台（物镜聚焦扫描）
所属类别： ? 精密定位系统/平移台/扫描系统 ? 聚焦扫描台/物镜扫描台
产品简介
物镜Z轴纳米扫描台
双传感器超高精度物镜扫描台！
AU-OSM-Z系列单轴压电扫描台采用压电陶瓷直推驱动，以柔性铰链为运动副，使其具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、定位分辨率高等优点。全行程采用电容位移传感器闭环反馈设计，精度可达到亚纳米量级。采用革命性双传感器技术，这一尖端的控制技术与以往相比，可实现更快、更准确以及更稳定的显微镜物镜聚焦。 全新双传感器技术克服了传统纳米定位系统的限制，可提供更快的阶跃响应，提高有效载荷出现变化时的稳定性，并且显著增加自动显微术应用时的机械带宽
Objective Scanning Mechanism 物镜扫描台、物镜定位器、 纳米定位工作台、 微定位工作台、压电精密定位系统，物镜Z轴扫描台，物镜高度扫描台，压电物镜聚焦平台,压电物镜扫描台
AU-OSM-Z系列纳米定位工作台采用压电陶瓷直推驱动，以柔性铰链为运动副，使其结构紧凑、拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。
全行程采用电容位移传感器闭环反馈控制系统设计，电容位移传感器是将位移变化转换为电容电量信号的变化。电容位移传感器简单易用，而且拥有极高的精度，可达到亚纳米量级。结合数字闭环控制器，纳米定位工作台的响应时间和稳定时间可达到毫秒量级。低的移动质量和高的刚度结合可以提供非常高的带宽。
采用目前业内最尖端的双传感技术，这一尖端的控制技术与以往相比，可实现更快、更准确以及更稳定的显微镜物镜聚焦。 全新双传感器技术克服了传统纳米定位系统的限制，可提供更快的阶跃响应，提高有效载荷出现变化时的稳定性，并且显著增加自动显微术应用时的机械带宽。这项突破性的技术能够应用于各种袖珍模拟和数字控制器，其操作简便，为用户提供顶尖性能。
物镜扫描台主要包含AU-OSM-Z-100B和AU-OSM-Z-400A两款产品：
AU-OSM-Z-100B采用双传感技术，在不同负载下无需重复校正，提高有效载荷出现变化时的稳定性，并且显著增加自动显微术应用时的机械带宽。该产品具极短的稳定时间（<4ms），自振频率达到600Hz，其极快的稳定时间为工业标准的3倍。采用电容纳米传感器定位系统，使该产品具有高的重复性（0.1nm）、直线性（0.01%）和极低的迟滞现象（0.005%）。材质采用不胀钢，刚度达到了1.5N/mm。
AU-OSM-Z-400A,为大行程的物镜扫描台，可达400mm。同样采用双传感技术，拥有极短的稳定时间和高的带宽。利用电容位移传感技术，其分辨率达到1nm。采用高刚度、无摩擦的柔性铰链为传动导向机构。
u 主要特点
l 亚纳米的分辨率
l 高的带宽
l 高速响应
l 高的可靠性
l 压电陶瓷驱动
l 柔性铰链设计
l 电容位移传感器闭环反馈
l 双传感器设计
u 主要应用
表面结构分析、 自动聚焦系统、共聚焦显微镜、扫描干涉仪等。
u 主要参数
型号 参数 | AU-OSM-Z-100B | AU-OSM-Z-400A |
Material | Stainless Steel | Titanium alloy |
Size | 56 long x 46 diameter | 100 (L) x 49 (H) x 46 (?) |
Cable Length (m) | 2 | 2 |
Range (mm) | 100 (Typical) | 400 (min) |
Static stiffness (N/μm) | 1.5 | 0.5 |
Resonant frequency: 0g load | 600 Hz | 280 |
Maximum load (kg) | 0.6 | 0.5 |
Small signal settle time | <4 ms | 10 ms |
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