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ET4000微细形状测定机

报价 ¥30万 - 50万

品牌

暂无

型号

ET4000

产地

中国大陆上海

应用领域

暂无

微细形状测定机

ET4000

· 高精度.安定性.机能性卓越适合于FPO基板·晶圆硬盘等的微细形状、 段差、粗度测定的全自动微细形状测定机,针对用途有多机种可供选择

· ET4000AL一多机能的全自动微细形状测定机

· ET4000L一对应大型工件的全自动微细形状测定机

· ET4000ML一高性能的泛用微细形状测定机


产品特点

最大试片尺寸 210×210mm~300×400mm
重现性 1σ 0.5nm以内
测定范围 Z:100μm X:100mm (Y移动量:150~400mm)
分解能 Z:0.1nm  X:0.1μm
测定力 0.5μN~500μN (0.05mg-50mg)

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