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最大试片尺寸 | 210×210mm~300×400mm |
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重现性 | 1σ 0.5nm以内 |
测定范围 | Z:100μm X:100mm (Y移动量:150~400mm) |
分解能 | Z:0.1nm X:0.1μm |
测定力 | 0.5μN~500μN (0.05mg-50mg) |
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