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MicroXact的半自动探针台提供多种选择，包括加热/冷却晶圆卡盘，标准或数字显微镜以及可编程平台分度，为您的所有高效设备表征提供经济高效且易于使用的解决方案。晶圆级可靠性测试需求。这些半自动探针台有三种选择（标准，高精度和高速）。
光滑的粉末涂层钢板可容纳多达10个磁性或真空定位器。
通过位于站两侧的终端隔离馈通，可以方便地连接微定位器，可以为BNC，Triax或Banana插头连接进行定制。
标准吊杆安装组件，用于显微镜的全范围XYZ定位。
可用的高分辨率微定位器，带80TPI螺钉，用于探针的μm级定位。
可用的RF选项包括可定制的RF探头，RF偏置卡盘和屏蔽罩。
高分辨率复合显微镜。
偏光显微镜。
广泛的相机选择。
射频可偏置卡盘和屏蔽罩。
抛光镀金可调节真空吸盘。
超完全真空泵。
标准半自动化系统
电动XY夹头，SPS-2600中的电动压板，SPS 2800中卡盘的电动Z轴运动，标准配置。Motorized theta是一种选择。
基于步进电机，无编码器。
极具成本竞争力
强烈推荐用于需要低于0°C的测试或屏蔽的应用
可用选项：加热或冷却卡盘，变焦镜或复合显微镜，各种屏蔽，用于直流和射频测量的卡盘选择等等
型号 | SPS-2800 | SPS-2600 | |
晶圆尺寸 | 高达200mm | 高达100mm | |
电机类型 | 步进电机 | ||
XY舞台行程 | 高达200mmx200mm | 高达125mmx125mm | |
XY舞台分辨率 | 电动，6.5μm重复性 | ||
显微镜 | 高品质立体声变焦，工作距离可达200mm，放大倍率范围为3.5X至180X | ||
馈通终端 | BNC，Triax或香蕉插头 | ||
系统尺寸 | 122厘米宽x122厘米深x 92厘米高 | 78厘米宽x80厘米深x 58厘米高 | |
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