英国Durham小型台式无掩膜光刻机Microwriter ML3

报价 ¥400万 - 500万

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品牌

暂无

型号

Microwriter ML3

产地

欧洲英国

应用领域

暂无

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

营业执照已认证

金牌会员
第5年

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产品详情

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英国Durham小型台式无掩膜光刻机Microwriter ML3

小型台式无掩膜光刻系统是英国Durham Magneto Optics公司专为实验室设计开发，为微流控、SAW、半导体、自旋电子学等研究领域提供方便高效的微加工方案。

传统的光刻工艺中所使用的铬玻璃掩膜板需要由专业供应商提供，但是在研发环境中，掩膜板的设计通常需要经常改变。无掩膜光刻技术通过以软件设计电子掩膜板的方法，克服了这一问题。与通过物理掩膜板进行光照的传统工艺不同，激光直写是通过电脑控制一系列激光脉冲的开关，在光刻胶上直接曝光绘出所要的图案。

Microwriter ML 3 是一款多功能激光直写光刻系统，具有结构小巧紧凑(70cm X 70cm X 70cm)，无掩膜直写系统的灵活性，还拥有高直写速度，高分辨率的特点。采用集成化设计，全自动控制，可靠性高，操作简便。适用于各种实验室桌面。

为了更好满足客户需求，同时节省客户采购成本，第三代Microwriter分为三个型号，基本型，增强型，旗舰型：

产品特点

Focus Lock自动对焦功能

Focus lock技术是利用自动对焦功能对样品表面高度进行探测，并通过Z向调整和补偿，

以保证曝光分辨率。

光学轮廓仪

Microwriter ML3 配备光学轮廓探测工具，用于匀胶后沉积层，蚀刻层，MEMS等前道结构的形貌探测与套刻。

Z向最高精度100 nm，方便快捷。

标记物自动识别

点击“Bulls-Eye”按钮，系统自动在显微镜图像中识别光刻标记。

标记物被识别后，将自动将其移动到显微镜中心位置。

别直写前预检查

软件可以实时显微观测基体表面，并显示预直写图形位置。通过实时调整位置、角度，

直到设计图形按要求与有结构重合，保证直写准确。

简单的直写软件

MicroWriter 由一个简单直观的Windows界面软件控制。工具栏会引导使用者进行简单的布局设计、

基片对准和曝光的基本操作。该软件在Windows10系统下运行。

Clewin 掩模图形设计软件

•可以读取多种图形设计文件（DXF, CIF, GDSII, 等）
•可以直接读取TIFF, BMP 等图片格式
•书写范围只由基片尺寸决定

直写分辨率1μm

直写分辨率0.6μm

微电极制备

微结构制备

微流通道制备

售后服务

保修期： 1年

是否可延长保修期：否

现场技术咨询：无

免费培训：免费安装及技术培训

免费仪器保养： 6个月一次。

保内维修承诺：经确认质量问题，免费更换。

报修承诺： 24小时内到达现场并开始维修

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