英国Nanobean NB5 电子束光刻机

报价 ¥400万 - 500万

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仪器对比

品牌

暂无

型号

NB5

产地

欧洲德国

应用领域

暂无

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

营业执照已认证

金牌会员
第5年

核心参数

产地类别：进口

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产品详情

英国Nanobean NB5 电子束光刻机

具有良好的稳定性，平均正常运行时间超过93%

规格:

束流电压范围为: 20kV - 100kV

光刻胶的特征尺寸: <8nm (光刻精度)

500um区域拼接/叠加误差: 小于25nm

自动装载5卡盘气锁系统

NB5发展目标:

改进设计和组件以减少日常服务需求。

实现每年少于5%的机器故障停机时间。

提高性能

便于批量生产。

NB5系统将为进一步发展高偏转速度和进一步集成电子提供平台。

The nB4 is a generation ahead of the current competition and with its field-proven performance has gained acceptance in the market place. It has excellent stability and has demonstrated an average uptime of greater than 93%. NanoBeam now introduces the nB5 which has been developed to further reduce delivery times and service costs.

NB5 development aims:

Refine design and components to reduce routine service requirements.
Achieve a machine-fault-downtime of less than 5% annually.
Enhance performance
Facilitate volume production.
Specification:

Beam Voltage range        20kV - 100kV
Feature size on resist      <8nm
Stitching/overlay error    <25nm for 500um field
Automatic loading            5 chuck airlock system

The nB5 system will provide a platform for further development to high deflection speed and further integrated electronics.

售后服务

保修期： 1年

是否可延长保修期：否

现场技术咨询：无

免费培训：免费安装及技术培训

免费仪器保养： 6个月一次。

保内维修承诺：经确认质量问题，免费更换。

报修承诺： 24小时内到达现场并开始维修

用户评论

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