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主要特点
新型潘式扫描探头，具备qPlus AFM功能,模块化设计,易于维护 |
可选光学通道，适于光学实 |
多源MBE样品制备，可原位沉积 |
袖珍型进样室，快速传输样品 |
STM 系统性能测试数据
该光学兼容低温扫描探针显微镜系统的详细工作发表在近期的《科
学仪器评论》杂志上【Review of Scientific Instruments 89, 113705
(2018); doi: 10.1063/1.5046466】
文章链接：Https://aip.scitation.org/doi/10.1063/1.5046466
技术参数
扫描 探头 | 光耦合兼容 | |
模块化设计，兼容qPlus AFM功能 | ||
工作温度 | ≤5K | |
X/Y/Z粗移动范围 | 2×2×8mm | |
X/Y/Z扫描范围 | 6×6×2μm @ RT | |
1.5×1.5×0.5μm @ LHe | ||
低温维持时间 | ≥50h(液氦容积4L、 液氮容积15L） | |
温度稳定性 | ＜0.2nm/h | |
分辨率 | 原子级分辨率 | |
样品台 | X/Y轴 | ±12.5mm，手动 |
Z轴 | 450mm，步进电机 | |
自转 | ±180°，手动 | |
公转 | ±180°，手动 | |
温度范围 | 120K~室温 (LN2冷却) | |
室温~1450K（E-Beam加热） | ||
蒸发源 最多6个 | DN40CF(O.D. 2.75'') | 5个 |
DN63CF(O.D. 4.5'') | 1个 | |
可选项 | 光学通道，适用于光学实验 | |
反射高能电子衍射仪 | ||
低能电子衍射仪 | ||
离子枪（3KeV/5KeV） | ||
1年
否
无
免费终身远程培训
与用户协商
一旦接到用户任何故障报告，我公司工程师在工作时间内可以做到5个工作日到达用户现场
收到用户信息后24小时内响应，供应商应派技术人员到现场维修，并在3个工作日内排除
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