ACME电子束蒸发源EBE35A1

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品牌

中科艾科米

型号

EBE35A1-H1M210-K

产地

中国大陆北京

应用领域

暂无

主要特点

超高真空兼容

蒸发温度不小于3000℃

精确的线性推进:0.01mm精度,25mm行程,专利设计

内置挡板,不受空间限制完全打开

可靠的束流监控,有效避免外界电磁场影响

填料方便快速


产品应用

  • 表面科学

  • 超薄膜层

  • 多分子层

  • 掺杂

  • 样品制备

  • 密接金属化


技术参数

EBE-drawing 450X450 cn.jpg


安装法兰

DN40CF (O.D. 2.75” )

烘烤温度

200℃

腔内直径

34mm

腔内长度

210 mm标准长度,170mm~400mm可选长度

源数量

1

样品类型

棒材,颗粒,粉末(可供坩埚)

冷却方式

内部水冷, 1L/min

束流监控范围

0.1nA~1mA

灯丝电流

0~7A (10mA step)

加速电压

0~2000V

输出功率

250W

束流发散度

±6°

蒸发温度

≥3000℃

坩埚尺寸

0.1cc

坩埚材料

钨,钼,钽,石墨,可定制其他材料

棒材尺寸

直径2~4 mm,长度30~60mm

 

电子束型号.png


 

售后服务

1年

免费提供远程终身技术服务

与用户协商

除耗材以及人为误操作引起的故障外

工作日2-4小时内予以响应

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