仪器对比
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主要特点
超高真空兼容 |
优异的温度和束流稳定性 |
独立式的水冷结构，源与水冷可单独拆卸 |
多样的灯丝设计，可满足不同升温需求 |
大坩埚容积可达155cc |
产品应用
MBE,表面科学,薄膜生长,样品制备
以及II-VI半导体薄膜研究和太阳能领域
技术参数
安装法兰 | DN40CF (O.D.2.75'') DN63CF (O.D. 4.5'') DN100CF (O.D. 6.0'') |
腔内长度 | 180~500mm可选 |
腔内直径 | 36.5mm, 61mm, 96mm |
工作温度 | 450~1400℃ |
加热方式 | 钽丝加热 |
温度稳定性 | ±0.1℃ |
温度测量 | K型热偶或C型热偶 |
烘烤温度 | 250℃ |
源数量 | 1 |
坩埚材料 | 石英, 氧化铝, 热解氮化硼, 可定制其他材料 |
坩埚容积 | DN40CF：5cc,7cc, 10cc DN63CF：25cc,40cc,60cc DN100CF:155cc |
冷却方式 | 一体式水冷或独立式水冷壁， 与源炉分开拆卸 |
挡板 | DN40CF含内置挡板，可选气动或手动 |
1年
否
有
免费提供远程终身技术服务
与用户协商
除耗材以及人为误操作引起的故障外
工作日2-4小时内予以响应
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