仪器对比
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主要特点
真空反应腔工作温度高达400℃ |
PID自动控温，带模糊算法自整定 |
复杂管气路可最多具备八种前驱体、两路氧化还原气路和三路载气 |
满足特殊样品（粉末）要求 |
适合低蒸气压固态源的高温鼓泡器设计，有利于提高反应效率和重复性 |
反应过程可自行编程，实现不同类型ALD样品生长 |
全金属密封，适用于腐蚀性反应 |
实时测控气体流量和监测真空度 |
在线原位分析气体成分 |
自带臭氧发生器，反应残留物热分解装置 |
互联版可与超高真空系统互联，并兼容MBE标准旗型样品托 |
系统可定制和扩展 |
ALD系统性能测试数据
技术参数
主腔体 | 腔体尺寸 | 内径40mm ×长度 980mm， 可定制其他尺寸 |
材质 | 316SS | |
工作温度 | RT~400℃ | |
控温精度 | ±1℃ | |
前驱体运输 | 4个低温前驱体源 (RT~80℃) | [(CH3)3Al]2，[(CH3)3Ge]2， H2O etc |
4个高温前驱体源 (RT~300℃) | Fe(Cp)2， Precious metal precursors | |
控温精度 | ±1℃ | |
气体流量控制 | 5 Gas flow controllers，0-500 sccm | |
载气 | N2，Ar | |
反应气 | O2/O3，H2 | |
控温路数 | 24路，可定制 | |
阀门控制路数 | 24（Max） | |
控制系统 | 主控单元，加热单元，测温单元 | |
软件控制 | Labview 图形化设计，友好的用户界面 | |
可选项 | 残余气体分析模块 | |
等离子体模块 | ||
光学检测模块 | ||
QCM原位监测模块 | ||
1年
否
无
免费终身远程培训
与用户协商
一旦接到用户任何故障报告，我公司工程师在工作时间内可以做到5个工作日到达用户现场
收到用户信息后24小时内响应，供应商应派技术人员到现场维修，并在3个工作日内排除
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