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光谱椭偏仪

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品牌

爱发科

型号

UNECS系列

产地

亚洲日本

应用领域

暂无

1. 产品概述:

UNECS系列是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。采用的测量方式,实现了高速测量和机体的小型化。

我们的产品阵容包括便携式,自动式和对应真空环境的设备内置式类型。

2. 特点

高速測定
快照方法可实现高达20 ms的高速测量。

适用于可见光谱:
波长范围可选标准类型(530nm至750nm)和可见光谱类型(380nm至760nm)。

紧凑型传感器单元:
光发射和接收的传感器仅由没有旋转机构的光学部件组成,因此非常轻且紧凑,并且不需要定期维护。

丰富的产品阵容:
产品阵容应用广泛,包括如便携类型,手动/自动平台类型,大型基板类型,以及支持大气/真空环境的内置类型。

3. 用途

透明或半透明薄膜(氧化膜,氮化膜,抗蚀剂,ITO等)的膜厚,折射率,消光系数的测量


售后服务

60天

1年

安装调试现场免费培训

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