一、Tergeo等离子清洗机主要配置:
产品型号 | Tergeo | Tergeo Plus |
腔室大小 | 内径φ110mm,深度280mm | 内径φ160mm,深度280mm |
腔室材质 | 高纯度石英玻璃,相对于派瑞克斯(Pyrex)玻璃有着更强地耐腐蚀性和更少地碱杂质; | |
常用气体 | 空气,氧气,氢气,氩气,氮气和其他混合气体 | |
气路控制 | 标配两路MFC,可选配三路MFC; | |
射频频率 | 13.56 MHz,远高于同条件下KHz频率所产生的等离子密度; | |
射频功率 | Tergeo 0~75W连续可调,可选配到150W; Tergeo Plus标配150W,可选配到300W和500W; 射频功率可以以 1 瓦的间隔进行调整; | |
程序设置 | 共有20个可设置的程序配方,工作顺序中最多有三个清洁步骤。 | |
用户界面 | 7英寸电阻触摸屏,可用手指触摸,无需手写笔。 | |
操作方法 | 自动配方执行:自动工作序列执行;手动操作。 |
二、Tergeo等离子清洗机主要用途:
1、清洗纳米级样品;
2、蚀刻光刻胶,除渣、硅片清洗;
3、引线键合倒装芯片底部填充,器件的封装和解封;
4、PDMS/微流控/载玻片/芯片实验;
5、改善金属与金属或复合材料的结合;
6、激活聚合物上的官能团,实现亲水或疏水润湿性,提高粘合强度和可印刷性,促进医疗设备的生物相容性。
武汉月忆神湖科技有限公司简称“武汉月忆",是中国大陆的一家创新型科技公司,总部位于九省通衢-湖北武汉。
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