仪器对比
关注
普通真空快速退火炉
国产
于 2英寸-12英寸
300℃-1000℃；
≦150℃/sec(裸片)；
30-80°C/s
±1
≦±1%(>500 ℃)；
设备规格：
1.半自动操作模式，自动开关腔门、条码识别；
2. 适应于 2英寸-12英寸 晶圆，支持 4寸9片晶圆或者 单片(300mmx300mm)样品，可定制双腔体模式，单次可处理18片4寸晶片；
3.退火温度范围 300℃-850℃；
4.升温速率 ≦150℃/sec(裸片)；
5.温度均匀性 ≦±0.5%(>500 ℃)；
6.真空腔体（可选配常压腔体或正压腔体）；
7.冷却方式包括水冷和氮气吹扫；
8.MFC控制，3-5路制程气体。
1年
是
有
技术人员现场培训
2月1次
软件免费重装，硬件维修
24小时到达
相关产品
