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Sitara TA230A 12英寸单片快速热退火系统
1、适用于 260-1200℃快速热处理工艺
Advanced 260-1200℃ rapid thermal process
2、高精度温度控制，提供优异工艺
High precision temperature control system ensure excellent process performance
3、低成本，高产能
Lower CoO/CoC，higher throughput
技术参数 Technical Parameters
1、晶圆尺寸 12 英寸
Wafer size 12"
2、适用工艺 快速热退火、快速热氧化、金属硅化
Applicable process RTA, RTO, Silicide
4、适用领域 科研、集成电路
Applied field R&D, IC
售后服务
60天
1年
安装调试现场免费培训
12英寸单片快速热退火系统信息由深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供，如您想了解更多关于12英寸单片快速热退火系统报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
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