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普通真空快速退火炉
国产
2-4英寸
300℃-1000℃
≦100℃/sec(裸片)
30-80°C/s
±1
≦±1%
设备规格：
1.手动操作模式；
2. 适应于 2英寸-4英寸 晶圆或者支持 (100mmx100mm)样品；
3.退火温度范围 300℃-1000℃；
4.升温速率 ≦100℃/sec(裸片)；
5.温度均匀性 ≦±1%(>500 ℃)；
6.常压腔体（可选配真空腔体）；
7.冷却方式包括水冷和氮气吹扫；
8.MFC控制，1-4路制程气体。
1年
是
有
技术人员现场培训
2月1次
软件免费重装，硬件维修
24小时到达
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