碳化硅快速热退火系统

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品牌

北方华创

型号

Pallas A220

产地

中国大陆北京

应用领域

暂无

深圳市矢量科学仪器有限公司

营业执照已认证

银牌会员
第2年
一般经销商

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产品详情

1. 产品概述

Pallas A220 碳化硅快速热退火系统，加热分区设计，具备良好的温度均匀性，高精度的控温模式，更优的升温速率。

2. 设备用途/原理

Pallas A220 碳化硅快速热退火系统，加热分区设计，具备良好的温度均匀性，高精度的控温模式，更优的升温速率。

3. 设备特点

晶圆尺寸 6/8 英寸兼容，适用工艺快速热退火。适用域科研、化合物半导体。

售后服务

产品货期： 60天

整机质保期： 1年

培训服务：安装调试现场免费培训

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