一、简介
德国Xiton Photonics专注于窄线宽固体脉冲激光器及其频率变换,其深紫外激光器尤为特色。基于1064nm/1342nm的全固态DPSS调Q激光器可通过频率变换提供193nm、213nm、224nm、266nm等深紫外激光输出及355nm、447nm、532nm、671nm等常规波长输出。
多数Xiton激光器具备TEM00模式输出,保证优越的聚焦性能,适合直写等应用;单纵模或窄线宽性能是Xiton激光器的另一特征,长长度确保可用于传统上采用气体激光器的计量、全息、光刻等应用。相比传统深紫外波段的气体激光器,固态激光器体积小、寿命更长,维护成本更低。
二、产品系列
1、IXION 193深紫外激光器
IXION 193为全固化单频激光器,其线宽达到变换极限,可用于光学计量、193nm步进光学系统校准、高功率准分子激光器种子等。
型号 | IXION 193 SLM |
波长 | 193.368nm (可选185-194nm) |
平均功率 | 10mW |
脉冲宽度 | 8 - 12ns |
单脉冲能量 | 1.6uJ |
重复频率 | 1-15kHz |
M2 | <1.6 |
线宽 | 80MHz/ 0.01pm/ 0.0027cm=1 |
相干长度 | >2m |
调谐范围 | >80GHz/ 10pm/ 2.6cm-1 |
典型应用
• 光谱仪校准
• 光刻
• 干涉仪
• 193nm计量测量
• 准分子激光器种子源
2、SLM系列单纵模激光器
SLM系列提供1064nm,532,355,266,213nm 等多个波长的单纵模、窄线宽纳秒激光输出。
型号 | SLM-213 | SLM-266 | SLM-355 | SLM-532 | SLM-1064 |
波长 | 213nm | 266nm | 355nm | 532nm | 1064nm |
平均功率 | >100mW | 500mW | 2W | 4W | 10W |
脉冲宽度 | 6-8ns | 8-10ns | 10-12ns | 10-15ns | 15-25ns |
单脉冲能量 | 10uJ | 50uJ | 200uJ | 400uJ | 1mJ |
重复频率 | 1-15kHz | 1-20kHz | 1-15kHz | 1-15kHz | 1-15kHz |
M2 | <1.6 | <1.7 | <1.5 | <1.2 | <1.2 |
线宽 | <80MHz | <80MHz | <60MHz | <60MHz | <40MHz |
相干长度 | 1.5m | >1.8m | >2.5m | 2.5m | 3.8m |
脉冲抖动 | 2.5% | <2.0% | <2.0% | <1.0% | <0.4% |
典型应用
• 激光雷达
• 干涉计量
• 光刻
• 光纤布拉格光栅(FBG)制造
• 光谱仪校准
• 计量学
• 全息
3、EXCITE系列
EXCITE系列尺寸较SLM系列为小,提供266nm - 1064nm单频纳秒脉冲激光。
型号 | EXCITE 266 | EXCITE 355 | EXCITE 532 | EXCITE 1064 |
波长 | 266nm | 355nm | 532nm | 1064nm |
平均功率 | 150mW | 400mW | 2.5W | 6W |
脉冲宽度 | 10-15 ns | 14-18 ns | 15-20 ns | 20-30 ns |
单脉冲能量 | 7.5uJ | 20uJ | 125uJ | 300uJ |
重复频率 | 1-30kHz | 1-30kHz | 1-30kHz | 1-30kHz |
M2 | <1.7 | <1.3 | <1.2 | <1.2 |
线宽 | <60MHz | <50MHz | <50MHz | <30MHz |
相干长度 | >2.5m | >3.0m | >3.0m | >5m |
典型应用
• Wafer检测
• 光致发光
• 干涉测量
• 拉曼光谱
• 光纤布拉格光栅(FBG)制造
• 光谱仪校准
• 计量学
• 全息
• 干涉直写
4、IMPRESS 213
IMPRESS 213深紫外激光器可用于FBG刻蚀、钻石及蓝宝石打标加工等应用,213nm波长及TEM00模式使它可以用于小于微米的直写加工。固体深紫外激光器相对于氩离子激光器,具备更佳的寿命、稳定性,更低的能耗和热负荷,适用7×24工业环境运行。
平均功率 | 150mW |
脉冲宽度 | 6-8ns |
单脉冲能量 | 15uJ |
重复频率 | 1-30kHz |
M2 | <1.6 |
典型应用
• FBG刻写
• 钻石打标
• 波长敏感处理
• 立体光刻
• 半导体检测
• 替代倍频氩离子激光器
• 光致发光
5、IMPRESS 224
IMPRESS 224提供介于213nm与266nm之间的224nm波长输出,满足部分对波长有特殊要求的应用(如增强拉曼光谱、痕量气体分析等)。
平均功率 | 300mW |
脉冲宽度 | <9ns |
单脉冲能量 | >30uJ |
重复频率 | 0.1-30kHz |
M2 | <1.6 |
典型应用
• FBG刻写
• 波长敏感处理
• 立体光刻
• 显示面板修复
• 微加工
• 半导体检测
• 替代倍频氩离子激光器
• 光致发光
6、IDOL系列
IDOL系列产生特殊的1342nm波长及其倍频(671nm)、三倍频(447nm),其中1342nm特别适合硅材料处理如隐形划片、集成电路修剪,而671nm、447nm则在显示平板修补领域有广泛应用。
型号 | IDOL 1342 | IDOL 671 | IDOL 447 |
波长 | 1342nm | 671nm | 447nm |
平均功率 | 4.5W | 2W | 1.5W |
脉冲宽度 | 12-26 ns | 10-12 ns | 11-13 ns |
单脉冲能量 | 300uJ | 130uJ | 100uJ |
重复频率 | 1-50kHz | 1-30kHz | 1-30kHz |
M2 | <1.2 | <1.2 | <1.3 |
典型应用
• 显示面板修补
• 隐形划片
• 波长敏感处理
• 硅材料处理
• 微加工
1年
是
有
提供专业的维修服务
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