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产品说明
德国ATLEX-300-I准分子激光器公司专业生产小型化、高重频、紧凑型短脉冲准分子激光器，并在该领域保持技术领先地位。
产品特点：
· 软电晕预电离
· 全固态高压脉冲发生器
· 激光头容积 < 3L
· TMC（全金属陶瓷）管路
· 集成真空泵和卤素过滤器
· 全部风冷，主动热管理
· RS-485、RS232、USB及光纤接口
· 可冲洗光具座
· 能量稳定模式
· 符合欧洲CE标准
· 符合RoHS规范
产品应用：
· 微机械加工
· 激光烧蚀
· 光谱学
· 计量学
产品参数：
ATLEX-300-I 产品参数 | ||||||
气体介质 | F2 | ArF | KrF | XeCl | XeF | 单位 |
波长 | 157 | 193 | 248 | 308 | 351 | nm |
高压开关技术 | 固态开关 | |||||
最大脉冲能量1 | 1 | 10 | 15 | 8 | 7 | mJ |
最大平均功率 | 0.2 | 2.4 | 4.0 | 2.0 | 1.7 | W |
最大重复频率 | 300 | Hz | ||||
脉冲宽度2 | 5 – 8 | ns | ||||
光束尺寸2(V x H) | 4 x 6 | mm | ||||
光束发散角2(V x H) | 1 x 2 | mrad | ||||
能量稳定性（标准偏差） | < 3 | % | ||||
尺寸（长x宽x高） | 540 x 470 x 370 | mm | ||||
重量 | 60 | kg | ||||
冷却 | Cooling Air / Optional Liquid | |||||
电力需求 | 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz | |||||
所有规格均为典型数据，如有因产品改进而更改的，恕不另行通知。
1在最低重复频率情况下测得： 应用能量稳定模式将会有10%的输出能量损失。
2典型值，FWHM
365天
1年
额外提供免费培训
到货后1天内
22小时内
是
1天内
是
30天
1年
是
是
是
是
是
是
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