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设备简介
NE-PE13F是一款小型真空等离子处理系统，广泛应用于科研院校，企业研发单位和小批量生产打样。设备采用进口品牌高性能旋片真空泵快速产生一个小于1-2 Pa的真空压强，同时根据客户工艺要求，对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体，采用进口高品质等离子发生器，使得通入的工艺气体产生等离子体，并确保稳定产生高密度，高能量的离子。等离子体与材料发生复杂的物理，化学反应，可以实现不同的工艺功能，比如清洗，活化，刻蚀与涂敷等。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光。
NE-PE13F 系统功能特点：
•耐用的高品质不锈钢结构和固定装置
•不锈钢托盘设计，可调节托盘间距
•8K镜面不锈钢腔体，卓越密封性
•13.56射频等离子发生器，产生高密度等高子体，确保出众的清洗效果；
•直观的触摸屏，过程参数实时监控。
•方便的定期校准设备连接验证过程中使用的要求
•支持各种工艺气体，包括氩气，氧，氢，氦和氟化气体
•通过联锁门或可移动的板
•两个标准的浮子针阀流量控制器，最佳气体控制
4、 设备技术参数
序号 | 项目 | 型号规格 | 参数 |
1 | 等离子体发生器 | 功率 | 0-300W可调 |
抗辐射干扰高频匹配器 | 自动阻抗匹配 | ||
频率 | 13.56 MHz | ||
2 | 真空反应腔室 | 腔体材质 | 进口 316 不锈钢，军工级密封 |
腔体容积 | 240(W)*280(D)*200(H)mm; 13.5L | ||
腔体有效处理面积 | 205（W）×205（D）mm | ||
绝缘陶瓷 | 进口高频陶瓷 | ||
3 | 放电电极 | 电极 | 高导电铝合金专用电极 |
放电形式 | CCP & RIE 离子反应放电模式 | ||
电极间距 | 可调整电极之间的距离，调整等离子体强度和密度，极大提升处理能力和效率 | ||
4 | 气路控制 | 气体流量控制器 | 浮子针阀流量控制器， 0-1000ML |
气路数量 | 配置3路工艺气路，支持氧气，氩气，氮气，氢气，四氟化碳，NH3,CCL4等 | ||
5 | 真空测量 | 真空计 | SMC 真空计 |
6 | 抽气系统 | 真空泵 | 飞越 16m³/H |
极限真空度 | 0.1PA | ||
真空管路 | 不锈钢管路+气动阀门 | ||
7 | 控制系统 | PLC | 松下PLC模块 |
触摸屏 | 4.3寸 | ||
软件程序 | 自主专利设计等离子控制系统 | ||
8 | 场务条件 | 电源供应 | 220V |
气管接口 | 直径8mm | ||
气体纯度 | 99.99% | ||
气体压力 | 0.3-0.6Mpa | ||
排气口 | KF25 | ||
9 | 整机参数 | 整机功率 | 1000W |
外形尺寸 | 630mm(L)×550mm(W) ×580 mm(H) | ||
重量 | 80kg |
1年
是
有
乙方负责对甲方人员进行技术、操作和设备的维护保养培训，但甲方必须指定专人学习与操
终生不收维修费，只收取基本材料费及运费
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接受服务请求后1小时内做出反应，2小时内提出处理意见和解决方案。
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