一、设备介绍
NE-Q05是一款石英真空等离子处理系统,广泛应用于科研院校,企业研发单位和小批量生产打样。小型石英等离子清洗机结构主要包括控制单元、石英真空腔体、真空泵三部分。等离子清洗机的工作流程为:腔体抽真空—充入工艺气体—电离工艺气体并清洗—去除工件。清洗首先在真空腔体内单种或者多种清洗所需气体,一般为Ar、O2、N2等,外加射频功率在平行电极之间形成交变电场,电子通过电场加速对工艺气体进行冲击使气体发生电离形成离子,作用在被清洗表面,电离产生的粒子与电子数量达到一定规模,便形成了等离子体。等离子体高速撞击材料表面,与被清洗表面污染物发生理化反应,实现材料的清洗,并利用气流将污染物排出腔体。通过等离子清洗可以有效清除被清洗表面污染物、改善表面状态、增加材料的粘附性能、提高材料表面的浸润性能。
NE-Q05 系统功能特点:
•真空腔体材质采用石英玻璃,不易与材料表面发生反应,污染清洗样品
•等离子发生器采用13.56MHz射频发生器,自动阻抗匹配调谐
•触摸屏用户界面+PLC控制,可储存多条工艺程序,全自动运行
•配备两路气路通道,气体流量可调,无需再搭配气体混合仪
•整体外观处理工艺、机架门板烤漆、耐用、防刮
•铝合金自动门:氧化处理、喷砂
•电路设计电流过载保护,模块式电路、维修方便快捷
•手动、自动、真空保压均可操作,不倒翁橡胶脚杯,自动平衡机器、减震
二、设备参数
序号 | 项目 | 型号规格 | 参数 |
1 | 等离子体发生器 | 功率 | 0-200W可调 |
频率 | 13.56MHz 固态射频电源 | ||
2 | 真空反应腔室 | 腔体材质 | 石英耐热玻璃 |
腔体容积 | 5L | ||
载物托盘 | 玻璃托盘,平行放置 | ||
腔体直径(圆形) | Φ150×270(D)mm | ||
3 | 气路控制 | 气体流量控制器 | 浮子针阀流量控制器, 0-1000ML |
气路数量 | 最小2路气体,支持氧气,氩气,氮气,氢气,四氟化碳等 | ||
4 | 真空测量 | 真空计 | SMC 真空计 |
5 | 抽气系统 | 真空泵 | 飞越 8m3/H |
极限真空度 | 0.1PA | ||
6 | 控制系统 | 触摸屏 | 4.3寸 |
PLC | 松下PLC模块 | ||
软件程序 | 自主专利设计等离子控制系统 | ||
7 | 场务条件 | 电源供应 | 220V |
气管接口 | 直径8mm | ||
气体纯度 | 99.99% | ||
气体压力 | 0.3-0.6Mpa | ||
排气口 | KF25 | ||
8 | 整机参数 | 整机功率 | 1000W |
外形尺寸 | 600mm(L)×450mm(W) ×500 mm(H) | ||
重量 | 40kg |
1年
是
有
乙方负责对甲方人员进行技术、操作和设备的维护保养培训,但甲方必须指定专人学习与操
终生不收维修费,只收取基本材料费及运费
终生不收维修费,只收取基本材料费及运费
接受服务请求后1小时内做出反应,2小时内提出处理意见和解决方案。
相关产品