仪器对比
关注
- 50mm
- 34kg
- 200mm
德国布鲁克 DektakXT 台阶仪（探针式表面轮廓仪）是一项创新性的设计，可以提供更高的重复性和分辨率，测量重复性可以达到5Å。台阶仪这项性能的提高达到了过去四十年Dektak技术创新，更加巩固了其行业地位。不论应用于研发还是产品测量，通过在研究工作中的广泛使用，DektakXT能够做到功能更强大，操作更简易，检测过程和数据采集更完善。
第十代DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）的技术突破，使纳米尺度的表面轮廓测量成为可能，从而可以广泛的应用于微电子器件，半导体，电池，高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。
台阶仪Dektak XT能实现：
· 台阶高度重现性低于4埃
· Single-arch设计提供具突破性的扫描稳定性
· 先进的“智能电子器件”设立了新低噪音基准
· 新硬件配置使数据采集时间缩短40%
· 64-bit，Vision64同步数据处理软件，使数据分析速度提高了10倍
· 频率，操作简易
· 直观的Vision64用户界面，操作简易
· 针尖自动校准系统
· 布鲁克（Bruker）以实惠的配置实现高的性能
· 单传感器设计，提供单一平面上低作用和宽扫描范围
40多年不断创新
建立在40多年的探针轮廓技术创新的知识和经验之上薄膜测试仪，在基于微处理器的轮廓仪，和300mm自动轮廓仪DektakXT继承了以往的。新的DektakXT是single-arch设计的探针轮廓仪，内置真彩高清光学摄像机，及安装64-bit并行处理架构已获得测量及操作效率的探针轮廓仪
有超过一万台设备，品牌Dektak以质量、可靠性及高性价比著称。当需要台阶高度、表面粗糙度、可靠测量时，人们就会借助Dektak。引进DektakXT，Bruker能让您进一步获得可靠及表面测量
提高数据采集和分析速度
利用直接驱动扫描平台，Dektak XT减少了扫描间的时间，而没有影响分辨率和背景噪声。这一改进大大提高了大范围扫描3D形貌或者对于表面应力长程扫描（就探针轮廓仪而言，通常是耗时的）的扫描速度。在保证行业的质量和重现性前提下，DektakXT可以将数据采集处理的速度提高40%。另外，DektakXT采用Bruker64-bit数据采集分析同步操作软件Vision64，它可以提高大范围3D形貌图的高数据量处理速度，并且可以加快滤波器的工作速度和多模式扫描是的数据分析。Vision64还具有行业内有效的直观用户界面，简化了实验操作设置，自动完成多扫描模式，让重复和常规的实验操作变得更快速简洁。
参数：
测试技术 | 探针式表面轮廓测量技术（接触模式） |
测量范围 | 二维表面轮廓测量 可选择三维测量以及数据分析 |
样品观测 | 可选择放大倍数，视场（FOV）范围：1~4mm |
探针传感器 | 低惯性量传感器 （LIS 3） |
探针作用力 | LIS 3 传感器中 1~15mg |
低作用力模式 | N-Lite+ 低作用力 0.03~15mg |
探针选项 | 探针曲率半径 50nm~25um 高径比针尖（HAR）10um×2um 和200um×20um ；也可以采用客户定制针尖 |
样品 X/Y 载物台 | 手动 X/Y（4英寸）：100mm*100mm，可手动校平 自动 X/Y（6英寸）：150mm*150mm，可手动校平 |
样品载物台 | 手动，360度连续旋转 自动，360度连续旋转 |
计算机系统 | 64位多核并行处理器，Windows® 7 系统；可选配23英寸平板显示器 |
软件 | Version 64 操作分析软件，应力测量软件，悬臂偏转测试软件； 选配：缝合软件；3D应力分析软件；3D测量软件 |
隔振系统 | 多种隔振方案可供选择。 |
扫描长度范围 | 55mm 2英寸） |
单次扫描数据采集点 | 120，000 |
样品厚度 | 50mm (2英寸) |
晶片尺寸 | 200mm (8英寸) |
台阶高度重复性 | <5Å, 1sigma on 0.1μm step |
垂直方向扫描范围 | 1mm (0.039英寸.) |
垂直方向分辨率 | 分辨率可达1Å (在6.55um测量范围内 |
输入功率 | 100 – 240 VAC, 50 – 60Hz |
温度范围 | 可以操作温度为20~ 25°C (68~77°F) |
湿度范围 | ≦80%，无凝结 |
系统尺寸和重量 | 455mm W x 550mm D x 370mm H (17.9in. W x 22.6in. D x 14.5in. H); 34kg (75lbs.); 隔离罩：550mm L x 585mm W x 445mm H (21.6in. L x 23in.W x 17.5in. H); 5.0kg (11lbs.) |
1年
否
有
无
一年一次
更换零部件
7X24小时
- 相关仪器
- 相关耗材
- 相关资料
相关产品
