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电容式
二维表面轮廓测量 可选三维测量
0.5%
50nm 至 25μm
0.3-15mg
55um
5Å, 1σ 在 1μ m 台阶上
最大 1Å ( 6.55μ m 垂直范围下)
300mm
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Dektak XTL™ 探针式轮廓仪可容纳高达 350mm x 350mm 的样品，为大型晶圆和面板制造带来Dektak ®传奇的可重复性。Dektak XTL 具有空气振动隔离设计和全封闭工作站设计，具有易用的联锁门，是当今苛刻的生产车间环境的的理想之选。其双摄像头架构可增强空间感知能力，其高自动化水平可大限度地提高测试通量。
增强的软件功能使 Dektak XTL 成为功能强大、容易使用的探针式轮廓仪。该系统利用 Vision64 软件，通过数百种内置分析工具实现众多的测量位点、3D成像和高度自定义的特征分析。Vision64软件还能测量形状，如曲率半径。模式识别可大限度地减少操作员误差并提高测量位置精度。集成化的软件包将数据收集和分析与直观的工作流程相结合。
Dektak XTL 以 50 多年的探针式轮廓仪的专业知识和生产设施的应用程序定制为基础，以满足当今和未来严格的行业路线图。300 毫米高精度编码 XY样品台为制造商提供了满足严格计量研发要求的可靠工具。Dektak 的双摄像头控制与高清放大双视场相机提供增强的空间感知。实时视频中的点击定位使操作员能够快速将样品移动到正确的位置，以便快速轻松地进行测量设置和自动化编程。该系统的大型联锁门为样品装载/卸载提供了安全、方便的访问。
其他硬件功能包括：
单拱形架构和集成振动隔离系统
快速更换自对齐探针
高精度编码 XY 样品台，实现更快的自动数据收集
N-Lite 低力，采用软触控技术，具有 1mm 测量范围，可同时用于测量精密和高垂直范围样品
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| 用户单位 | 采购时间 |
|---|---|
| 郑州航天电子技术有限公司 | 2016-08-17 |
| 重庆富胜科技有限公司 | 2018-07-31 |
| 美特科技（苏州）有限公司 | 2018-03-01 |
1年
否
无
现场操作培训
1年1次
免费更换部件，玻璃制品和耗材除外
24~48小时到达现场进行维修
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