TOC总有机碳分析仪纯水

报价 ¥5.5万

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品牌

红日仪器

型号

HRTOC -50

产地

中国大陆河北

应用领域

暂无

河北红日仪器设备有限公司

营业执照已认证

银牌会员
第2年
一般经销商

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产品详情

TOC总有机碳分析仪纯水在半导体制作工艺中，80%以上的工序要经过化学处理，而每-道化学处理都离不开超纯水; 在硅片的处理工序中，一半以上的工序经过超纯水清洗后便直接进入高温处理过程，此时如水中含有杂质便会进入硅片，造成器件性能下降成品率低。

电子工业提出的超纯水电阻率≥18MΩ .cm （ 25℃），已极其接近理论纯水水质 18.3 MΩ .cm （25℃）。对电解质、DO 、TOC 、SIO2 、颗粒及细菌等技术指标提出更高要求。如 256 兆位的动态随机储存器生产工艺，光刻线条宽已达 0.1 微米，要保证这一指标，超纯水中颗粒径就得≤0.05μm ，而且 20.05μm 不得超过 500 个/升超纯水。

2 、水质标准

超纯水水质标准大多数由中科院半导体所主要制定。

TOC总有机碳分析仪纯水

电源要求/功率	100 – 240 VAC, 50HZ, 120W
测量范围	0.001mg/L～1.5 mg/L（1～1500ppb）
电导率检测范围	0.055μs/cm～8μs/cm
测量精度	±3%
分辨率	0.001mg/L
RSD	重复性≤2%
样品温度	0～99℃
噪音	＜60分贝
检测原理	采用紫外氧化、直接电导率原理检测
样品	具有样品数据库
分析时间	连续分析
响应时间	5分钟之内
检测极限	0.001 mg/L
样品温度	1-99℃
使用范围	离线实验室、清洁验证
审计追踪	≥5年多项事件日志，可根据时间查询（选配）
权限管理	用户名密码登录，4级权限，满足FDA 21CFR PART 11要求
密码管理	定时密码更换功能
锁屏功能	定时锁屏功能
方案管理	可自行设置测试方案
报警功能	具备
数据备份	具有备份功能