仪器对比
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工艺腔室: 铝
腔室容量: 10升
腔室尺寸: 300(w) x320(D) x 170 (H) mm
样品尺寸: 6寸，向下兼容，可处理12寸样品
腔门: 抽式带加热台盘（选配），带观察窗
微波源: 2.45GHz，最大1200W
气 路: 标配两路工艺气体，带质量流量计
真空规: Pirani
真 空 泵: 千泵或者油泵可选
真空 阀: 电子气动阀
控制系统: 10.4寸触摸屏，Windows系统，图形化操作界面
选 配 件: 气路 (可升级至4路) ，选配250°C加热台盘
电力需求: AC 50Hz 380/240V
售后服务
120天
2年
安装调试现场免费培训
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