电动位移台
国产
重载五自由度压电平台可实现高达35KG负载下保持纳米级运动精度,可广泛应用于大孔径干涉仪、物镜稳定器、光学对准、纳米压印、显微成像/操作、表面检测、半导体加工等。
技术特点:
超大负载
压电陶瓷精密设计
应用领域:
大口径干涉仪
物镜稳像器
光学对准
纳米压印
显微成像/操纵
表面检测
半导体加工
规格参数:
型号 | NP-FAPC-5011A | |
运动轴 | X,Y,Z,θX,θY | |
传感器类型 | 电容式位移传感器 | |
X/Y闭环行程 | 100um | |
Z闭环行程 | 35um | |
θX,θY闭环行程 | ±150urad | |
X/Y分辨率 | <2nm | |
Y分辨率 | <1nm | |
θX,θY分辨率 | <20nrad | |
X/Y/Z线性度 | 0.03% | |
X/Y重复定位精度 | <10nm | |
Z重复定位精度 | <10nm | |
θX,θY重复定位精度 | 0.1urad | |
平台噪声 | <2nm | |
最大承载能力 | 35kg | |
Z谐振频率@35kg | >100Hz | |
θX/θY谐振频率@35kg | >100Hz | |
带载最高工作频率 | 10Hz | |
材质 | 铝合金 | |
质量 | 12kg | |
工作温度 | 0~50℃ | |
尺寸 | Φ500X117mm 中空Φ360mm |
60天
1年
安装调试现场免费培训
到货后7天内
48小时内
否
15天内
是
90天
1年
否
否
先付款后维修
维修图纸;技术参数;维修手册
不支持
相关产品