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电动位移台
国产
重载五自由度压电平台可实现高达35KG负载下保持纳米级运动精度，可广泛应用于大孔径干涉仪、物镜稳定器、光学对准、纳米压印、显微成像/操作、表面检测、半导体加工等。
技术特点：
超大负载
压电陶瓷精密设计
应用领域：
大口径干涉仪
物镜稳像器
光学对准
纳米压印
显微成像/操纵
表面检测
半导体加工
规格参数：
| 型号 | NP-FAPC-5011A | |
| 运动轴 | X，Y，Z，θX，θY | |
| 传感器类型 | 电容式位移传感器 | |
| X/Y闭环行程 | 100um | |
| Z闭环行程 | 35um | |
| θX，θY闭环行程 | ±150urad | |
| X/Y分辨率 | ＜2nm | |
| Y分辨率 | ＜1nm | |
| θX，θY分辨率 | ＜20nrad | |
| X/Y/Z线性度 | 0.03% | |
| X/Y重复定位精度 | ＜10nm | |
| Z重复定位精度 | ＜10nm | |
| θX，θY重复定位精度 | 0.1urad | |
| 平台噪声 | ＜2nm | |
| 最大承载能力 | 35kg | |
| Z谐振频率@35kg | ＞100Hz | |
| θX/θY谐振频率@35kg | ＞100Hz | |
| 带载最高工作频率 | 10Hz | |
| 材质 | 铝合金 | |
| 质量 | 12kg | |
| 工作温度 | 0~50℃ | |
| 尺寸 | Φ500X117mm 中空Φ360mm | |
60天
1年
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48小时内
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15天内
是
90天
1年
否
否
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