基于音圈电机驱动和高精度导向模组实现纳米级超高分辨力的定位/扫描直线运动,内置光栅位移传感器,结构紧凑,通过自主研发的高性能纳米伺服系统获得优异的闭环控制效果,具有纳米级运动分辨率和运动精度,同时兼具高速、高动态位移定位和扫描功能。
特点:
高精度、高动态、跨尺度、大承载、灵活性
应用领域:
光学系统中透镜的定位
医学装置中精密电子管、真空管控制
机械工具的多坐标定位平台
柔性机器人中使未端执行器快速精确定位
60天
1年
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90天
1年
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否
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