六自由度并联运动平台可实现多自由度运动,动态范围大,承载大,稳定性强,任意指定转动中心,可满足各种工业需求,适应大气和真空环境。广泛应用于显微操纵、生物技术、半导体制造等。
支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。
应用领域:
· 半导体封测 · 视觉装配 · 主动光学 · 显微操纵 · 生物技术 · 光纤校准
规格参数:
型号 | H-PC-180 |
运动轴 | X,Y,Z,θX,θY,θZ |
传感器类型 | 光栅传感器 |
X/Y/Z闭环行程 | 10/10/6mm |
θX/θYθZ闭环行程 | ±3°/±3°/±2° |
X/Y/Z分辨率 | 1μm |
θX,θY,θZ分辨率 | 17μrad |
X/Y/Z重复定位精度 | 1μm |
θX,θY,θZ重复定位精度 | 10 μrad |
负载能力 | 20kg(水平);10kg(倒置) |
材质 | 铝合金 |
自身重量 | 18kg |
工作温度范围 | 0℃~50℃ |
尺寸 | Φ400X200mm |
转动速度 | ≥0.5mrad/s |
60天
1年
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到货后7天内
48小时内
否
15天内
是
90天
1年
否
否
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