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原子层沉积ALD

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品牌

Beneq

型号

Beneq Transform® 300

产地

欧洲芬兰

应用领域

暂无

1.产品概述:

Beneq Transform 300 是一个高度通用的制造平台,面向致力于 CIS、电源、Micro-OLED/LED、先进封装和其他 MtM 应用的 IDM 和代工厂。它是一种高度可配置的解决方案,适用于多种高薄膜应用,从栅电介质到钝化和/或封装等。

2.产品优势:

大的灵活性和功能Beneq Transform® 300 是一款同时提供热 ALD(批量)和等离子 ALD(单晶圆)技术的 300mm 原子层沉积 (ALD) 簇工具。

配置找到适合您的设置。 Transform® 300 平台旨在满足广泛的容量和应用要求,包括先进封装、芯片封装和磁带晶圆应用。

生产力行业标准的顶水平。 该工具包括可维护性和可用的短 MTTCR。借助我们有的预热模块,您可以享受热批量 ALD 的高吞吐量。

晶圆厂就绪Beneq Transform® 300 与 SECS/GEM 通信功能兼容,并符合高的 SEMI S2 和 S8 标准。



售后服务

60天

1年

安装调试现场免费培训

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